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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

輔助系統(tǒng)的設(shè)計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，特種氣體廠家，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設(shè)計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺或多臺惰性氣體柜。

特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動閥，特種氣體價格，主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換，溫州特種氣體，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統(tǒng)。氮氣系統(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來計算決定。

特種氣體系統(tǒng)工程施工的一般性要求

特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管應(yīng)采用全自動軌道焊機焊接，高純氬氣保護。安裝和試驗檢測用計量器具應(yīng)檢定合格并在有效期內(nèi)使用。特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專項施工方案，特種氣體供應(yīng)商，并經(jīng)過業(yè)主審批后實施。主要設(shè)備材料進場應(yīng)提供必要資料：產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測試報告；產(chǎn)品安裝、使用、維護和試驗要求等技術(shù)文件；產(chǎn)品規(guī)格、型號、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具。

特種氣體的分類

近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高，所以我們特將這個領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬。

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